一、设备定位
是中型旗舰单通道水浸超声扫描显微镜,单通道指单发射接收超声通道,一套探头同步完成发射 + 回波采集;对标进口 KSI/SONIX,兼顾实验室失效分析 + 产线批量抽检,适配 IGBT、SiC 模块、水冷板、陶瓷基板、半导体封装、锂电池、金刚石复合片等主流工件。

整机
水槽内部三轴平台
二、核心硬件参数(单通道标准版)
1. 机械运动系统
项目 单通道 S600 参数
整机外形尺寸 1000×900×1400mm
不锈钢水槽 620×650×150mm
有效扫描行程 1000×700×150mm(单通道专属大台面)
驱动方式 X 轴直线电机,Y/Z 伺服丝杠
定位精度 X/Y ≤±0.5μm,Z ≤±5μm
重复定位 X/Y≤0.01mm,Z≤0.02mm
更大扫描速度 800mm/s(单通道优于双通道 600mm/s,单点检测更快)
图像分辨率 1~4000μm 可调
2. 单通道超声核心单元
超声收发通道:单通道一体式脉冲收发卡,带宽 1–65MHz 硬件原生,软件兼容 1~230MHz 各规格聚焦探头(5/15/30/50/75/100MHz)
高速采集:500MHz 采样频率,时域波形细节完整
耦合系统:压力自动上水 + 水泵自动排水,循环去离子纯水
标配工控:i5/8G/1TB 固态,双 27 寸显示器,Win10 专业版
3. 标配 / 选配功能
标配扫描模式:A 扫单点波形、B 扫纵向剖面、C 扫平面成像、多层分层扫描(最多 50 层)、快速扫、区域扫、托盘批量扫、厚度测量精密仪器股份有限公司
选配模块:T 透射扫描单元、3D 缺陷重建、自动化上下料对接、产线 MES 数据接口
软件功能:自动缺陷上色、空洞面积 / 空洞率自动统计、一键设备校准、国标 GB/T11259 不锈钢标准块标定、自动检测报告导出Hiwave
三、单通道与双通道 S600 核心区别
单通道(标准版)
仅 1 组收发探头,同一时间仅 1 个探头工作
优势:扫描速度更快(800mm/s)、硬件成本更低、维护简单、适合中小批量 / 实验室 FA 分析、单类工件长期检测
劣势:无法同时挂载高低频双探头切换,换探头需手动更换
双通道
双超声通道,可装 2 支不同频率探头自动切换
优势:高低频一键切换,兼顾厚件穿透 + 薄件高分辨,适合多品类混线检测
劣势:扫描速度降至 600mm/s,整机价格更高
四、单通道 S600 典型应用场景
功率半导体(主力场景)
IGBT/SiC MOS 模块 DBC/AMB 基板钎焊空洞、芯片焊层分层、底板脱粘、塑封气泡、TO 封装内部缺陷
热管理新能源
水冷散热板、液冷板钎焊气孔、未焊合、内部分层
微电子封装
BGA、倒装芯片、晶圆键合、陶瓷封装分层空洞
复合材料
PCD/PCBN 金刚石刀具、碳纤维航空件、靶材贴合缺陷
锂电行业
电芯极片分层、绝缘胶层气泡、汇流排焊接缺陷
IGBT模块C扫缺陷成像
五、单通道机型优缺点总结
优势
国产自研,成像效果对标进口 SAM,性价比高,售后响应快
单通道直线电机高速扫描,小件检测效率突出
大水槽行程,可一次性放置多块模块批量扫描
全中文操作软件,终身免费软件升级,自动缺陷定量分析
无电离辐射,无损检测,样品检测后可回流、二次使用
局限
仅单探头工位,高频 / 低频切换需人工更换探头
大批量多品类混线产线,效率弱于双通道机型
六、常用探头搭配方案(单通道按需选配)
30/50/100MHz:薄芯片、BGA、陶瓷基板,高分辨率,穿透≤1mm
15/25MHz:IGBT、SiC 功率模块,平衡穿透与精度(行业最常用)
5/10MHz:水冷板、厚复合材料、大尺寸钎焊工件,深穿透
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